Máquina de limpieza ultrasónica totalmente automática para obleas de silicio semiconductor

1. Inspección en línea de circuito cerrado para evitar que los productos defectuosos salgan de la línea

• Inspección de muestreo por visión artificial: Se selecciona automáticamente una pieza para inspección de cada 100 piezas. La superficie del marco se escanea con una cámara industrial de 2 megapíxeles y se utiliza un algoritmo de IA para identificar residuos de partículas ≥5μm (tasa de falsos negativos < 0.01%).
• Integración de prueba de niebla salina: Los marcos limpios se pueden conectar directamente a la máquina de prueba de niebla salina posterior. La prueba real muestra que el tiempo de resistencia a la niebla salina de la capa electrochapada aumenta en un 20% (extendido de 48 horas a 57.6 horas).

2. Diseño antiestático para proteger el tratamiento de superficie de precisión

• Cobertura completa de barras de aire ionizante: Se instalan ocho juegos de barras de aire ionizante antiestáticas (voltaje de ionización ±5kV) en la sección de secado y en el puerto de descarga para neutralizar la electricidad estática en la superficie del marco en tiempo real (voltaje residual < 100V), evitando la adsorción de partículas de polvo en el aire.
• Protección a nivel de sala limpia: Todo el equipo está equipado con una campana de presión negativa con un nivel de limpieza de Clase 10,000 (una campana de flujo laminar Clase 100 es opcional), lo que garantiza que el proceso de limpieza esté libre de contaminación externa y cumpla con los requisitos de limpieza ultra limpia antes del recubrimiento óptico.

3. Sistema de protección de seguridad para crear un taller sin accidentes

• Protección de enclavamiento triple: Cuando se abre la puerta, la fuente de alimentación ultrasónica se corta automáticamente, la bomba de pulverización se detiene y el tubo de calentamiento de secado se apaga, con un tiempo de respuesta < 0.2 segundos.
• Sistema de monitoreo de fugas: Un sensor de nivel de líquido y una sonda de conductividad están integrados en la parte inferior del tanque. Cuando se detecta una fuga de líquido de limpieza, la bomba de drenaje del vertedero se activa en 3 segundos, acompañada de alarmas audibles y visuales.
• Respuesta 7×24 horas: Cinco centros de servicio principales en todo el país (Delta del Río de la Perla / Delta del Río Yangtze / Beijing-Tianjin-Hebei / Chengdu-Chongqing / Wuhan) almacenan una gama completa de piezas vulnerables (transductores, boquillas de pulverización, tubos de calentamiento) y pueden llegar al sitio en 4 horas.