Boquillas de cerámica resistentes a altas temperaturas para temperaturas de proceso de 1200 grados C en la industria LED

Especialmente desarrollado para procesos de fabricación de LED, este producto se fabrica utilizando 99,8% de nitruro de silicio de alta pureza (Si3N4) mediante sinterización a presión de gas de precisión.Con una limpieza ultra alta, resistencia a altas temperaturas y resistencia a la corrosión para cumplir con los estrictos requisitos de los equipos MOCVD.

Aplicaciones en la fabricación de LED

• Equipo MOCVD: Distribución precisa de la fuente de MO y del gas NH3

• Crecimiento epitaxial: inyección uniforme de gas en cámaras de reacción

• Fabricación de chips: Sistemas de suministro de gas de protección

• Proceso de envasado: Atomización por rociado de fósforo

• Equipo de ensayo: Control óptico del gas de inspección

Ventajas de la industria de los LED

✓ Ultra-alta limpieza: contenido de iones metálicos < 1 ppm
✓ Resistencia a altas temperaturas: soporta temperaturas de proceso de 1200°C
✓ Contaminación cero de gases: no hay emisiones de partículas
✓ Control preciso del caudal: ± 1% de precisión del caudal
✓ Vida útil prolongada: soporta más de 5000 ciclos térmicos

Parámetros específicos de los LED

Proceso de fabricación limpio

1. Preparación del material:

   • Nano polvo (D50≤0,3μm)

   • Fresado de bolas sin polvo (sala limpia de la clase 10)

2. Con un contenido de aluminio superior a 10%, pero no superior a 50%

   • Presión isostática (200MPa)

   • Sinterización ultralimpia (entorno de la clase 100)

3. Trasprocesamiento:

   • Limpieza del plasma (descontaminación de la superficie)

   • Limpieza de agua con DI por ultrasonidos

4. Embalaje:

   • Envases de doble vacío

   • Bolsas limpias de clase 4 ISO

Guías de uso

️ Instalación: Se requiere una operación de sala limpia de clase 100
Control del gas: utilizar gases de alta pureza al 99,999%
️ Control de temperatura: velocidad de calentamiento ≤ 5°C/min
️ Mantenimiento: prueba de fuga de helio cada 500 horas

Servicios especializados

• Prórroga de la garantía: 18 meses

• Prueba de limpieza: prueba de emisión de partículas libres

• Respuesta rápida: apoyo técnico de 12 horas

• Optimización del proceso: simulación del campo de flujo de gas

Preguntas frecuentes

P: ¿Cómo garantizar la pureza de la fuente de entrega de MO?
A: Tres salvaguardias:
1 Pasivación del Si de superficie
2 Envases limpios de la clase 100
3 Limpieza con plasma antes de la instalación

P: ¿Cómo manejar el obstrucción de las boquillas?
A: Se recomienda:
• 200W de ultrasonido + limpieza de agua DI
• No hay limpieza mecánica de la varilla
• Disponible un servicio de limpieza profesional

P: ¿Compatibilidad con las diferentes capas epitaxiales?
A: Opciones personalizables:

• Estructuras de matriz de agujeros múltiples

• Diseños de tamaño de perforación gradual

• Configuraciones de ángulo especiales

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