Descripción de la función:
1. Adopta el diseño de puerta frontal vertical, el mejor husillo de puerta y sistema de rotación que puede brindar la experiencia operativa más conveniente y una capa hermosa como TIN, TIO2.
2. Adopta material de acero inoxidable SUS304, camisa de agua de enfriamiento oculta, buen pulido y apariencia hermosa.
3. Equipado con múltiples conjuntos de fuentes de iones de arco múltiple de nuevo desarrollo, asegúrese de que el sputtering de iones sea más uniforme, puro y sólido cada vez.4. Adopta una admisión de aire de múltiples vías avanzada, control preciso del flujo de gas, satisface las necesidades del recubrimiento de películas compuestas.
5. Carga una fuente de alimentación de polarización pulsada unipolar, mejora en gran medida la energía de las partículas cargadas y logra una excelente adhesión y acabado de la película. Programa PLC inteligente y HMI de nuevo desarrollo, para que las operaciones de recubrimiento sean más rápidas y fáciles.CONFIGURACIÓN TÉCNICA
1. Estructura de la cámara: estructura de puerta frontal vertical, sistema de vacío trasero, el material para la cámara de vacío adopta acero inoxidable SUS304 de alta calidad.2. Fuente de arco: equipada con múltiples conjuntos de potencia de arco múltiple según el tamaño de la máquina.
3. Objetivo de arco múltiple: equipado con múltiples conjuntos de objetivos de titanio o acero inoxidable como configuración estándar.
4. Sistema de rotación: rotación y revolución planetaria, control de frecuencia.
5. Sistema de vacío: Bomba de difusión (la bomba molecular es opcional) + Bomba Roots + Bomba mecánica + Bomba de paletas rotativas (la bomba criogénica es opcional).
6. Control de gas: controlador de flujo másico de siete estrellas de múltiples vías.
7. Fuente de alimentación de polarización: fuente de alimentación de polarización de pulso de una sola etapa.
8. Sistema de calefacción: Controlable y ajustable desde temperatura ambiente hasta 350 ℃ (control de temperatura PID).
9. Modo de control: operación manual + semiautomática + automática Pantalla de integración HMI + PLC.
APLICACIÓN
1. La máquina de recubrimiento iónico de arco múltiple al vacío puede recubrir películas en la superficie de metal, cerámica y otros sustratos de materiales. Se utiliza ampliamente en el recubrimiento de estantes de exhibición de acero inoxidable, manijas, accesorios de plomería, etc., la mejor opción para reemplazar el galvanizado tradicional.
2. La película principal recubierta, como: iones de oro, plata, nitruro de titanio, carburo de titanio, nitruro de circonio, titanio aluminio, nitruro de cromo y otras películas metálicas funcionales, los productos recubiertos por la máquina de recubrimiento iónico pueden mejorar la dureza, la resistencia al desgaste, la anticorrosión y lucir más hermosos.