Especificaciones
Número de modelo :
4H 6 pulgadas SIC Epitaxial Wafer
Lugar de origen :
PORCELANA
Cantidad mínima de pedido :
5
Términos de pago :
T/T
El tiempo de entrega :
2-4 semanas
Detalles del embalaje :
Paquete en sala de limpieza de 100 grados
Tamaño :
6 pulgadas
Espesor :
200-300 um
Material :
4H-SiC
tipo de la conductividad :
Tipo N (dopado con nitrógeno)
Resistividad :
Cualquier
TTV :
µm del ≤ 10
Arco/deformación :
≤ 20 µm
Embalaje :
Vacío sellado
Descripción

Resumen general de las obleas SiC Epi

 

 

Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

 

 

 

La oblea epitaxial 4H-SiC es un material básico para dispositivos de energía de disulfuro de carbono (SiC), fabricado en un sustrato de cristal único 4H-SiC mediante deposición química de vapor (CVD).Su estructura cristalina única y sus características eléctricas lo convierten en un sustrato ideal para el uso de alta tensión (UHV)., > 10 kV) transistores de efecto de campo de óxido metálico-semiconductor (MOSFET), diodos Schottky de barrera de unión (JBS) y otros dispositivos de potencia.,200 μm, 300 μm) para aplicaciones que van desde escenarios de bajo voltaje hasta UHV, adecuados para vehículos de nueva energía (NEV), sistemas de energía industrial y tecnologías de redes inteligentes.

 

 


 

Características de las obleas epitaxiales de SiC

 
Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

1. Alta tensión de ruptura y baja resistencia.

  • Obtiene un voltaje de ruptura (BV) y una resistencia específica de encendido (R) equilibradosespPor ejemplo, los MOSFET SJ de clase 5 kV presentan un nivel de resistencia de R en el caso de los MOSFET de clase SJ de 5 kV, y en el caso de los MOSFET de clase SJ de 5 kV, el nivel de resistencia es de R en el caso de los MOSFET de clase SJ.espEn el caso de las máquinas de la categoría N, el valor de las máquinas de la categoría N es el valor de las máquinas de la categoría N, el valor de las máquinas de la categoría N es el valor de las máquinas de la categoría N.
  • "Técnicas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección" de "sistemas de detección".

 

2Excepcional estabilidad térmica y fiabilidad.

  • Aprovecha la alta conductividad térmica (4,9 W/cm·K) y el amplio intervalo de banda (3,2 eV) para operar de manera estable por encima de 200 °C, minimizando la complejidad de la gestión térmica.
  • Utiliza el implante de iones de energía ultra alta (UHEI) (hasta 20 MeV) para reducir el daño de la red, combinado con el recocido a 1700 °C para reparar defectos, logrando una densidad de corriente de fuga < 0,1 mA/cm2 .

Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

3Baja densidad de defectos y alta uniformidad

  • Los parámetros de crecimiento optimizados (ratio C/Si, estrategia de doping de HCl) producen una rugosidad superficial (RMS) de 0,4 ∼0,8 nm y una densidad de macrodefecto < 1 cm−2.
  • La uniformidad del dopaje (prueba CV) garantiza una desviación estándar < 15%, garantizando la consistencia del lote.

 

4Compatibilidad con procesos de fabricación avanzados

  • Soporta arquitecturas de pilares de llenado de zanjas y de doping profundo, lo que permite diseños de agotamiento lateral para los MOSFET UHV con voltajes de ruptura superiores a 20 kV.
 

 


 

4H-SiC Aplicaciones de obleas epitaxiales

 
Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

1- Dispositivos de energía de ultraalta tensión.

  • Vehículos de nueva energía (NEV): Inversores de accionamiento principal y cargadores a bordo (OBC) para plataformas de 800 V, que mejoran la eficiencia en un 10­15% y permiten la carga rápida.
  • Sistemas eléctricos industriales: conmutación de alta frecuencia (rango de MHz) en inversores fotovoltaicos y transformadores de estado sólido (SST), reduciendo las pérdidas en un > 30%.

 

2.Redes inteligentes y almacenamiento de energía

  • PCS de almacenamiento de energía de formación de red para estabilización de red débil.
  • Transmisión de corriente continua de alto voltaje (HVDC) y equipos de distribución inteligentes, que alcanzan una eficiencia de conversión de energía > 99%.

 

3.Transporte ferroviario y aeroespacial

  • Inversores de tracción y sistemas de potencia auxiliares para temperaturas extremas (-60°C a 200°C) y resistencia a las vibraciones.

 

4Investigación y fabricación de alta tecnología

  • Material básico para detectores de elementos ultrapesados (por ejemplo, Nh), que permite la detección de partículas α a altas temperaturas (300°C) con una resolución energética < 3%.

 

 

Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

 

 


 

Los parámetros de las obleas epitaxiales 4H-SiC

 
 
Parámetro Especificación / Valor
Tamaño 6 pulgadas
El material 4H-SiC
Tipo de conductividad Tipo N (dopado con nitrógeno)
Resistencia Cualquier
Ángulo fuera del eje 4°±0,5° de desviación (normalmente hacia la dirección [11-20]
Orientación cristalina (0001) Características de la sustancia
El grosor 200 a 300 mm
Frente de acabado de la superficie CMP pulido (listo para la epi)
Superficie de acabado de vuelta Lavar o pulir (opción más rápida)
TTV ≤ 10 μm
El valor de las emisiones de CO2 ≤ 20 μm
Embalaje Sellado al vacío
Cuota del año 5 piezas
 
 

 

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Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)

 

*Aceptamos uno personalizado, por favor no dude en contactarnos acerca de sus requisitos.

 

 


 

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Wafer de Epi SiCPreguntas frecuentes

 

 

1P: ¿Cuál es el rango de grosor típico para las obleas epitaxiales 4H-SiC de 6 pulgadas?

R: El espesor típico oscila entre 100 ∼ 500 μm para soportar aplicaciones MOSFET de ultraalta tensión (≥ 10 kV), balanceando el voltaje de ruptura y la gestión térmica.

 

 

2P: ¿Qué industrias utilizan obleas epitaxiales 4H-SiC de 6 pulgadas?

R: Son críticos para redes inteligentes, inversores de vehículos eléctricos, sistemas de energía industrial y aeroespacial, lo que permite una alta eficiencia y fiabilidad en condiciones extremas.

 

 


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