Wafer epitaxial SiC de 4H de 6 pulgadas 100 μm/200 μm/300 μm para dispositivo MOS de ultraalta tensión (UHV)
La oblea epitaxial 4H-SiC es un material básico para dispositivos de energía de disulfuro de carbono (SiC), fabricado en un sustrato de cristal único 4H-SiC mediante deposición química de vapor (CVD).Su estructura cristalina única y sus características eléctricas lo convierten en un sustrato ideal para el uso de alta tensión (UHV)., > 10 kV) transistores de efecto de campo de óxido metálico-semiconductor (MOSFET), diodos Schottky de barrera de unión (JBS) y otros dispositivos de potencia.,200 μm, 300 μm) para aplicaciones que van desde escenarios de bajo voltaje hasta UHV, adecuados para vehículos de nueva energía (NEV), sistemas de energía industrial y tecnologías de redes inteligentes.
1. Alta tensión de ruptura y baja resistencia.
2Excepcional estabilidad térmica y fiabilidad.
3Baja densidad de defectos y alta uniformidad
4Compatibilidad con procesos de fabricación avanzados
1- Dispositivos de energía de ultraalta tensión.
2.Redes inteligentes y almacenamiento de energía
3.Transporte ferroviario y aeroespacial
4Investigación y fabricación de alta tecnología
Parámetro | Especificación / Valor |
Tamaño | 6 pulgadas |
El material | 4H-SiC |
Tipo de conductividad | Tipo N (dopado con nitrógeno) |
Resistencia | Cualquier |
Ángulo fuera del eje | 4°±0,5° de desviación (normalmente hacia la dirección [11-20] |
Orientación cristalina | (0001) Características de la sustancia |
El grosor | 200 a 300 mm |
Frente de acabado de la superficie | CMP pulido (listo para la epi) |
Superficie de acabado de vuelta | Lavar o pulir (opción más rápida) |
TTV | ≤ 10 μm |
El valor de las emisiones de CO2 | ≤ 20 μm |
Embalaje | Sellado al vacío |
Cuota del año | 5 piezas |
*Aceptamos uno personalizado, por favor no dude en contactarnos acerca de sus requisitos.
1P: ¿Cuál es el rango de grosor típico para las obleas epitaxiales 4H-SiC de 6 pulgadas?
R: El espesor típico oscila entre 100 ∼ 500 μm para soportar aplicaciones MOSFET de ultraalta tensión (≥ 10 kV), balanceando el voltaje de ruptura y la gestión térmica.
2P: ¿Qué industrias utilizan obleas epitaxiales 4H-SiC de 6 pulgadas?
R: Son críticos para redes inteligentes, inversores de vehículos eléctricos, sistemas de energía industrial y aeroespacial, lo que permite una alta eficiencia y fiabilidad en condiciones extremas.
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