Embalaje y entrega

Detalles del embalaje

Película de plástico y caja de madera de alta calidad para exportación, embalaje estándar de contenedor para la máquina de recubrimiento al vacío PVD de iones de arco múltiple de barrera de acero inoxidable CICEL

Puerto de despacho

Guangdong

Unidades de venta

Artículo único

Tamaño del paquete único

80X25X25 cm

Peso bruto único

10.000 KG

Ejemplos de embalaje

Lion KingMáquina de recubrimiento óptico por haz de electrones

Descripción general de la tecnología

La máquina de recubrimiento óptico por haz de electrones es un equipo central en el campo de la fabricación óptica de precisión. Utiliza haces de electrones de alta energía para fundir, evaporar e ionizar materiales ópticos de alto punto de fusión, luego deposita los materiales vaporizados sobre la superficie de los sustratos para formar películas ópticas ultrafinas, uniformes y de alto rendimiento. Estas películas se utilizan ampliamente en componentes ópticos como películas antirreflectantes, películas de alta reflexión, películas de filtro y películas de polarización, que son esenciales para dispositivos en industrias como la óptica, la electrónica, la aeroespacial y los semiconductores.

Principio de funcionamiento

Creación de un entorno de vacío

Todo el proceso de recubrimiento se lleva a cabo en una cámara de alto vacío. Este entorno cumple dos propósitos críticos:

Evita que el material vaporizado reaccione con el aire o se disperse por las moléculas de gas, lo que garantiza la pureza de la película.

Reduce la colisión entre los átomos/moléculas vaporizados y las moléculas de gas, lo que permite que el vapor llegue al sustrato sin problemas y forme una película densa.

Generación y aceleración del haz de electrones

Un cañón de electrones genera electrones a través de la emisión termoiónica. Los electrones se aceleran luego mediante un campo eléctrico de alto voltaje para obtener una alta energía cinética.

Calentamiento y evaporación del material objetivo

El haz de electrones de alta energía se enfoca mediante una lente magnética y se dirige a la superficie del material objetivo. La energía cinética de los electrones se convierte en energía térmica al colisionar con el objetivo, calentando rápidamente el material hasta su temperatura de evaporación (incluso para materiales con puntos de fusión superiores a 2000°C, como la alúmina). El material luego se vaporiza en un vapor de alta densidad compuesto por átomos, moléculas o iones.

Deposición de vapor y formación de película

Las partículas de material vaporizado se mueven en línea recta en la cámara de vacío y se depositan sobre la superficie del sustrato giratorio. A medida que las partículas se acumulan, forman una película delgada con una estructura y propiedades ópticas específicas.

Monitoreo y control in situ

Durante el proceso de recubrimiento, se utiliza un microbalanza de cristal de cuarzo o un sistema de monitoreo óptico para rastrear en tiempo real el espesor de la película y el índice de refracción. El sistema retroalimenta los datos a la unidad de control, que ajusta parámetros como la potencia del haz de electrones, la temperatura del sustrato y la velocidad de deposición para garantizar que la película cumpla con los requisitos de diseño.

Ventajas clave

Alta eficiencia de evaporación para materiales de alto punto de fusión

Los haces de electrones calientan directamente el objetivo, lo que permite la evaporación de materiales con puntos de fusión > 3000°C.

Alta pureza de la película

El entorno de vacío y el calentamiento sin contacto minimizan las impurezas en la película.

Control preciso del espesor

Los sistemas de monitoreo in situ y la potencia ajustable del haz de electrones permiten una precisión de control del espesor de la película de hasta ±0,1 nm, lo que cumple con los requisitos de las películas ópticas multicapa.

Amplia compatibilidad de materiales

Compatible con óxidos, fluoruros, metales e incluso cerámicas, lo que amplía los rangos de aplicación.

Alta velocidad de deposición

Las velocidades de deposición pueden alcanzar 1–10 nm/s, lo que mejora la eficiencia de producción de componentes ópticos de gran lote.

Industrias aplicadas

Comunicación óptica

Recubrimiento de películas delgadas para fibras ópticas y acopladores ópticos, lo que garantiza una baja pérdida de señal durante la transmisión de la luz.

Electrónica de consumo

Películas antirreflectantes (AR) para pantallas de teléfonos inteligentes/portátiles. Filtros de corte infrarrojo (IR) para módulos de cámara.

Aeroespacial y defensa

Películas de alta reflexión para telescopios ópticos satelitales. Películas ópticas anti-hielo y anti-vaho para parabrisas de aviones.

Semiconductores y optoelectrónica

Películas dieléctricas para microchips. Recubrimientos de película delgada para diodos emisores de luz.