Introducción del equipo
El equipo de recubrimiento por evaporación por resistencia es un tipo central de equipo de deposición física de vapor (PVD), compuesto principalmente por una cámara de vacío, una fuente de evaporación por resistencia, un sistema de vacío, un soporte de sustrato, un sistema de control de temperatura, etc.
Principio de funcionamiento
En funcionamiento, primero se evacua la cámara de vacío hasta el grado de vacío establecido, luego se calienta el elemento calefactor de resistencia mediante una corriente eléctrica, lo que hace que el material de evaporación (metal, aleación, compuesto, etc.) colocado en el elemento calefactor se derrita y se vaporice. Los átomos o moléculas gaseosas se mueven en línea recta y se depositan en la superficie del sustrato a recubrir, formando finalmente una película uniforme.
Características principales
La estructura es simple y fácil de operar, con pocos componentes centrales y bajos costos de mantenimiento.
Cuenta con alta eficiencia de calentamiento, aumento rápido de la temperatura y puede vaporizar rápidamente el material, lo que resulta en un ciclo de recubrimiento relativamente corto.
El precio de compra del equipo es inferior al de la evaporación por haz de electrones, el sputtering por magnetrón y otros equipos, y el consumo de energía operativo es relativamente bajo.
Aplicaciones principales
En el campo de la óptica: Preparación de películas antirreflectantes y películas reflectantes para lentes ópticas, como películas ópticas de una o varias capas para lentes de gafas y lentes de cámaras.
En el campo de la electrónica:Fabricación de películas de electrodos y películas conductoras para dispositivos semiconductores y componentes electrónicos, como películas metálicas para los conductores de circuitos integrados y electrodos de condensadores.
Campo de la decoración:Recubrimiento de películas decorativas para productos plásticos, piezas de hardware, joyas, etc., como recubrimientos de oro y plata para carcasas y accesorios de teléfonos móviles.
Otros campos:Investigación sobre el recubrimiento de películas de aluminio en la superficie de materiales de embalaje (como papel de aluminio para envasado de alimentos), preparación de películas funcionales en la superficie de sensores y preparación de películas para muestras de laboratorio.