Introducción básica
El equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón RF es un dispositivo de recubrimiento basado en la tecnología de pulverización catódica con magnetrón y equipado con una fuente de alimentación de RF (comúnmente 13.56MHz).

Ioniza gases inertes (como el argón) a través de un campo eléctrico de radiofrecuencia para formar plasma. Bajo la restricción de un campo magnético, el plasma bombardea la superficie del material objetivo, haciendo que los átomos o moléculas del material objetivo escapen y se depositen en la superficie del sustrato, formando una película uniforme.

Características principales
1. Tiene una amplia gama de adaptabilidad y puede pulverizar varios materiales objetivo, como conductores, semiconductores y aislantes, sin necesidad de tratamiento conductor.

2. El proceso de recubrimiento es suave, con una baja temperatura del sustrato, lo que puede reducir el daño a sustratos sensibles al calor como plásticos y polímeros.

3. La capa de película tiene una alta precisión de control. Al ajustar parámetros como la potencia, la presión del aire y el tiempo, se puede controlar con precisión el grosor, la composición y la estructura de la película.

Ventajas principales
1. La capa de película tiene una excelente calidad, con alta densidad, baja tasa de defectos y fuerte adhesión al sustrato.

2. La velocidad de pulverización es estable, la eficiencia de producción es relativamente alta y es adecuada para la producción industrial por lotes.

3. Respetuoso con el medio ambiente y libre de contaminación, el proceso no requiere reactivos químicos y solo utiliza gases inertes, cumpliendo con los requisitos de producción ecológica.

Aplicaciones típicas
En el campo de la información electrónica:

Preparación de películas de electrodos y películas aislantes para chips semiconductores, circuitos integrados y paneles de visualización.

Campo óptico:

Producción de películas antirreflectantes, películas reflectantes, películas de filtro, etc., que se aplican en lentes, instrumentos ópticos, módulos fotovoltaicos, etc.

En los campos industrial y decorativo:

Preparación de películas resistentes al desgaste, resistentes a la corrosión y decorativas para su uso en herramientas de corte, moldes, piezas de hardware y vidrio arquitectónico.

En el campo de las nuevas energías:

Se utiliza para películas de electrodos de baterías de litio, capas catalíticas de pilas de combustible, recubrimientos de células solares, etc.