Introducción básica
El equipo de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón vertical es un dispositivo de deposición física de vapor (PVD) con un diseño de estructura vertical, donde el sustrato y el material objetivo se disponen perpendicularmente.

Utiliza un campo magnético para confinar el plasma, lo que permite que los iones bombardeen eficientemente el material objetivo instalado verticalmente. Después de que los átomos/moléculas del material objetivo escapan, se depositan verticalmente sobre la superficie del sustrato colocado verticalmente, formando una película uniforme. El equipo está equipado principalmente con múltiples posiciones de objetivo, cámaras de vacío y sistemas de transmisión, que son adecuados para requisitos de producción por lotes o continua.

Características principales
1. La disposición estructural es compacta, y el diseño vertical ahorra significativamente espacio en el suelo horizontal, lo que lo hace adecuado para escenarios con espacio limitado en la fábrica.

2. El sustrato se coloca verticalmente. Durante el proceso de recubrimiento, es menos probable que las partículas se adhieran a la superficie de la película, lo que puede reducir los defectos de la capa de película.

3. Admite la configuración de múltiples sitios objetivo, lo que permite la deposición continua de películas multicapa y películas compuestas, y es adecuado para los requisitos de sistemas de películas complejos.

4.El modo de transferencia de la base es flexible. Se puede fijar mediante dispositivos verticales o transportarse continuamente, y es adecuado para bases de diferentes tamaños y formas.

Ventajas principales
1. La uniformidad de la capa de película es buena. La disposición vertical hace que la trayectoria de las partículas pulverizadas desde el material objetivo hasta cada área del sustrato sea más uniforme, reduciendo significativamente la desviación del espesor de la película.2. Alta eficiencia de producción

, con un diseño de trabajo síncrono de múltiples sitios objetivo o transmisión continua, puede lograr el recubrimiento por lotes y aumentar la producción por unidad de tiempo.3. La operación y el mantenimiento son convenientes. La estructura vertical facilita el reemplazo del material objetivo, la limpieza de la cavidad y la inspección del equipo, reduciendo los costos de mantenimiento.

4. Tiene una fuerte compatibilidad y no solo puede adaptarse a piezas de precisión pequeñas, sino también satisfacer los requisitos de recubrimiento de sustratos de gran área como vidrio y placas.Aplicaciones típicasEn el campo de las pantallas planas:

Preparación de películas conductoras transparentes y películas táctiles para paneles de visualización de cristal líquido (LCD) y diodos orgánicos emisores de luz (OLED).

En el campo de la arquitectura y la conservación de la energía:
Producción de películas de baja emisividad y películas de control solar para vidrio aislante Low-E para mejorar el aislamiento térmico y el rendimiento de ahorro de energía del vidrio.

En el campo de la decoración y el hardware:

Recubrimiento de películas metálicas decorativas (como películas de titanio dorado y cromo) o películas resistentes al desgaste para productos como herrajes para puertas y ventanas, accesorios de baño y marcos de teléfonos móviles.

En los campos de la óptica y la electrónica:

preparación de películas antirreflectantes/reflectantes para lentes ópticas, películas de electrodos para dispositivos semiconductores y películas funcionales para láminas de electrodos de baterías de litio