El monitoreo del grosor de películas delgadas es esencial para el control de calidad en la fabricación de semiconductores y pantallas. Nuestros instrumentos fotoeléctricos proporcionan la solución ideal, combinando la medición de precisión con la preservación de capas delicadas. A través de diagnósticos ópticos inteligentes, las industrias obtienen herramientas para el refinamiento continuo del proceso y desarrollos innovadores.
El espectrómetro JINSP SR100Q integra el Hamamatsu S7031, un chip CCD de matriz de área de grado científico refrigerado por TE. Con un tamaño de píxel de 24×24μm y una excelente eficiencia cuántica de hasta el 92%, asegura una alta respuesta en la banda ultravioleta y mejora eficazmente la sensibilidad y el SNR de las señales débiles. La avanzada trayectoria de luz de alta resolución y el chip de procesamiento de señal FPGA de bajo ruido y alta velocidad ofrecen excelentes señales espectrales y un rendimiento estable y confiable.
Especificaciones del Detector | ||
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Detector | Tipo de Chip | Hamamatsu S7031 refrigerado por TE con retroiluminación |
Píxel Efectivo | 1024*122 | |
Tamaño de Píxel | 24*24μm | |
Área de Detección | 24.576*2.928mm | |
Parámetros Ópticos | ||
Diseño Óptico | Tipo cruzado F/4 | |
Apertura Numérica | 0.13 | |
Longitud Focal | 100mm | |
Ancho de Rendija de Entrada | 10μm, 25μm, 50μm, 100μm, 200μm (personalizable) | |
Interfaz de Fibra | SMA905, espacio libre | |
Parámetros Eléctricos | ||
Tiempo de Integración | 8ms-3600s | |
Interfaz de Salida de Datos | USB3.0, RS232, RS485, conector de 20 pines | |
Profundidad de Bits ADC | 16 bits | |
Fuente de Alimentación | 5V | |
Corriente de Funcionamiento | <3.5A | |
Parámetros Físicos | ||
Temperatura de Funcionamiento | 10℃~40℃ | |
Temperatura de Almacenamiento | -20℃~60℃ | |
Humedad de Funcionamiento | <90%HR (sin condensación) | |
Dimensiones | 180mm*120mm*50mm | |
Peso | 1.2kg |
Modelo | Rango Espectral(nm) | Resolución(nm) | Rendija(μm) |
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SR100Q-G21 | 200~950 | 6.8 | 200 |
SR100Q-G22 | 350~1100 | 2.2 | 50 |
SR100Q-G23 | 200~775 | 1.6 | 50 |
SR100Q-G24 | 350~925 | 1.0 | 25 |
SR100Q-G25 | 532~690(4400cm-1*) | 13cm-1 | 50 |
SR100Q-G26 | 638~800(3200cm-1*) | 10cm-1 | 25 |
SR100Q-G27 | 785~1050(3200cm-1*) | 11cm-1 | 50 |
Nota: Los modelos marcados con * están diseñados principalmente para aplicaciones Raman.
La luz incidente de la sonda de fibra se refleja en las superficies superior e inferior de la película, generando haces interferentes. El espectrómetro analiza su espectro de interferencia, lo que permite el cálculo del grosor mediante el método del extremo (usando θ, n y datos de pico/valle). Un mayor grosor aprieta el espaciado de las franjas, mientras que las longitudes de onda más largas lo expanden. Las mediciones precisas requieren configuraciones espectrales optimizadas.
JINSP Company Limited es un proveedor profesional con más de 17 años de experiencia en productos de tecnología de detección espectral, incluyendo tecnologías Raman, FT-IR y LIBS. Después de 17 años de acumulación tecnológica, las tecnologías centrales de la empresa han alcanzado niveles líderes a nivel internacional, con más de 200 solicitudes de patentes.
Con sede en Beijing, JINSP opera una planta de fabricación en Jiangsu, China. La empresa posee las certificaciones ISO9001:2015, ISO14001:2015 e ISO45001:2018, junto con varias certificaciones específicas de la industria, incluyendo la Certificación CE y las Pruebas de Seguridad ICT alemanas.