El chip de sustrato de carburo de silicio (SiC) de 10 × 10 mm es un material base avanzado de semiconductores de cristal único,diseñados para soportar los exigentes requisitos de la electrónica de potencia moderna y los dispositivos optoelectrónicosConocido por su excepcional capacidad de disipación de calor, amplio intervalo de banda electrónica y excepcional robustez química,el sustrato de SiC permite un funcionamiento fiable de los componentes en condiciones extremas como altas temperaturasEstos chips de SiC cuadrados, cortados con precisión a 10 × 10 mm, se utilizan ampliamente en laboratorios de I + D, desarrollo de prototipos y fabricación de dispositivos especializados.
La producción de sustratos de carburo de silicio (SiC) utiliza típicamenteTransporte físico de vapor (PVT)o biencrecimiento de cristales de sublimaciónLas tecnologías:
Preparación de la materia prima:Los polvos de SiC ultrapuros se colocan dentro de un crisol de grafito de alta densidad.
Crecimiento cristalino:Bajo una atmósfera estrictamente controlada y temperaturas que superan2,000°C, el material se sublima y recondensa en un cristal de semilla, produciendo una gran bola de SiC de un solo cristal con defectos minimizados.
El corte de lingotes:Las sierras de alambre de diamante cortan el lingote en grandes cantidades en obleas delgadas o pequeñas astillas.
Las condiciones de producción y de producción de los productos incluidos en el presente anexo son:La planarización de la superficie elimina las marcas de corte y garantiza un espesor uniforme.
Polishing químico mecánico (CMP):Produce una superficie lisa como un espejo adecuada para la deposición de la capa epitaxial.
Dopaje opcional:Introducción de nitrógeno (tipo n) o aluminio/boro (tipo p) para ajustar las características eléctricas.
Aseguramiento de la calidadLas rigurosas comprobaciones de planitud, densidad de defectos y uniformidad del espesor garantizan el cumplimiento de los estándares de semiconductores.
Los sustratos de carburo de silicio se fabrican principalmente en4H-SiCy6H-SiCestructuras cristalinas:
4H-SiC:Muestra una mayor movilidad de electrones y un rendimiento superior para la electrónica de potencia de alto voltaje como los MOSFET y los diodos de barrera de Schottky.
6H-SiC:Ofrece propiedades adaptadas para aplicaciones de RF y microondas.
Las principales ventajas físicas incluyen:
Amplia banda:~ 3.2 ∼ 3.3 eV, garantizando un alto voltaje de ruptura y eficiencia en los dispositivos de conmutación de energía.
Conductividad térmica:3.0 ¥4.9 W/cm·K, ofreciendo una excelente disipación de calor.
Resistencia mecánica:Dureza de ~ 9,2 Mohs, proporcionando resistencia al desgaste mecánico durante el procesamiento.
Electrónica de potencia:Material básico para MOSFETs, IGBTs y diodos Schottky de alta eficiencia en grupos motrices de vehículos eléctricos, almacenamiento de energía y convertidores de energía renovable.
Dispositivos de alta frecuencia y RF:Es esencial para sistemas de radar, comunicaciones por satélite y estaciones base 5G.
Optomecánica:Adecuado para LEDs ultravioleta, diodos láser y fotodetectores debido a la transparencia UV superior.
Aeroespacial y Defensa:Permite el funcionamiento de la electrónica en condiciones de radiación intensiva y alta temperatura.
Investigación académica e industrial:Perfecto para la caracterización de nuevos materiales, dispositivos prototipo y desarrollo de procesos.
Propiedad | Valor |
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Las dimensiones | 10 mm × 10 mm cuadrados |
El grosor | Unidad de ensayo de las partículas de aluminio |
Polítipo | 4H-SiC o 6H-SiC |
Orientación | Planos C, fuera del eje (0°/4°) |
Finalización de la superficie | Polido de una o dos caras, preparado para epi |
Opciones de dopaje | Tipo N, tipo P |
Grado de calidad | Grado de investigación o de dispositivos |
P1: ¿Por qué elegir sustratos de SiC sobre el silicio tradicional?
SiC ofrece una mayor resistencia a la degradación, un rendimiento térmico superior y pérdidas de conmutación significativamente más bajas,que permiten a los dispositivos lograr una mayor eficiencia y fiabilidad que los fabricados con silicio.
P2: ¿Pueden estos sustratos estar provistos de capas epitaxiales?
Sí, las opciones de epitaxia preparadas y personalizadas están disponibles para los requisitos de dispositivos de alta potencia, RF u optoelectrónicos.
P3: ¿Ofrece dimensiones personalizadas o dopaje?
Los tamaños personalizados, los perfiles de dopaje y los tratamientos superficiales están disponibles para satisfacer las necesidades específicas de la aplicación.
P4: ¿Cómo funcionan los sustratos de SiC en condiciones de funcionamiento extremas?
Mantienen la integridad estructural y la estabilidad eléctrica a temperaturas superiores a 600 °C y en ambientes propensos a la radiación, por lo que son indispensables en el sector aeroespacial, de defensa, de transporte y de transporte.y sectores industriales de alta potencia.