El brazo robótico cerámico de alumina impreso en 3D es una solución de automatización de alto rendimiento diseñada específicamente paraFabricación de semiconductores, manipulación de obleas y producción automatizada. UtilizandoTecnología de impresión 3D DLP/SLA, se fabrica como un único componente integrado de99Cerámica de alumina de alta pureza (Al2O3) de 0,9%. Con propiedades excepcionales incluyendodureza ultra alta, resistencia térmica, resistencia a la corrosión y bajo coeficiente de expansión térmica, es ideal paralos ambientes de vacío, las condiciones químicas adversas y los procesos a altas temperaturas, garantizandoalta limpieza y estabilidaden aplicaciones de manipulación de obleas.

Principales aplicaciones

✅Manipulación de obleas de semiconductores: Control de vacío, posicionamiento y transferencia deOferta de 12 pulgadas
✅Equipos de grabado y deposición: Resistente al plasma para procesos PVD/CVD
✅Operaciones de alta temperatura: Funcionamiento continuo en300 °C y más
✅Líneas de producción automatizadas: Compatible con herramientas de extremo de brazo (EOAT) para una mayor productividad

Ventajas competitivas

Especificaciones técnicas

• La pureza material: ≥ 99,9% de Al2O3

• Tecnología de impresión: fotopolimerización DLP (precisión de ± 20 μm)

• Capacidad de carga útil: 5 kg (estándar)/10 kg (carga pesada)

• Repetibilidad:Precisión de posicionamiento ± 0,01 mm

• Rango de temperatura: -50 °C a 300 °C

• La rugosidad de la superficie: Ra≤ 0,1 μm (policable hasta 0,05 μm)

• Compatibilidad con el vacío: canales de aire integrados (filtración de 0,5 μm)

Proceso de fabricación

1. Modelado 3D: Diseño CAD + simulación de la trayectoria de manejo de las obleas

2. Preparación del estiércol: Mezcla de resina de nanoalumina + fotopolímero (55-58% de contenido sólido)

3. Impresión DLP: Curado capa por capa (20 μm de espesor)

4. Sinterización a alta velocidad: Densificación a 1650°C (117-122% de compensación por contracción)

5. Mecanizado de precisión: Recorte con láser + rectificación CNC (aplanamiento ± 0,02 mm)

6. Control de calidad: Inspección por rayos X + pruebas de fugas

Instrucciones de funcionamiento

¿Qué quieres decir?Notas importantes :

• Esterilizar en autoclave (121°C) antes del primer uso

• Evitar la exposición al ácido fluorhídrico (HF)

• Inspección conjunta mensualpara el desgaste y la integridad del vacío

• Utilice efectos finales de cerámicapara evitar daños en las obleas