La oblea de silicio fundido es una oblea monocristalina de grado óptico hecha de material de cuarzo, también conocida como cuarzo fundido o sílice fundido.como el rango de transmisión desde 0.17 a 2.1um, 0.26 a 2.1um y 0.0185 a 3.5um, deformación inferior a 35um, modelos FLH como JGS1, JGS2, JGS3 y F-HUV, segundo plano por solicitud y rugosidad de superficie Ra inferior a 1.0nm.En comparación con otros materiales como el cartón de silicato de calcio y el vidrio de borosilicato, tiene una mayor transmisión óptica, un menor coeficiente de expansión térmica y una mejor homogeneidad.ventanas, y prismas.
El material | Silicio fundido UV, cuarzo fundido (JGS1, JGS2, JGS3) | ||||||
Especificación | Unidad | 3 ¢ | Cuatro | 5" de largo. | 6" de largo | 8" de largo | 12" de largo. |
Diámetro (o cuadrado) | En el caso de los | 76.2 | 100 | 125 | 150 | 200 | 300 |
Toll (±) | En el caso de los | < 0,1 a 0,25 mm | |||||
espesor más delgado | En el caso de los | > 0 años10 | > 0 años10 | > 0 años30 | > 0 años30 | > 0 años30 | > 0 años50 |
Piso primario | En el caso de los | 22 | 32.5 | 42.5 | 57.5 / muesca | Encasillado | Encasillado |
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. | Mm | El valor de las emisiones | El valor de las emisiones | El valor de las emisiones | El valor de las emisiones | El valor de las emisiones | < 10 |
TTV | Mm | El número de personas | < 10 | < 15 años | < 20 años | < 30 años | < 30 años |
- ¿ Por qué? | Mm | ± 20 | ± 25 | ± 40 | ± 40 | ± 60 | ± 60 |
La velocidad warp. | Mm | < 30 años | < 40 años | < 50 años | < 50 años | < 60 años | < 60 años |
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. | % | ≥ 95% ((5 mm*5 mm) | |||||
Transmisibilidad | Opción UV, óptica, IR o personalizada | ||||||
Redondeo del borde | En el caso de los | Conforme a la norma SEMI M1.2/referencia a la norma IEC 62276 | |||||
Tipo de superficie | Polido de un solo lado / Polido de dos lados | ||||||
Lado pulido Ra | nm | < 1,0 nm o específico según lo solicitado | |||||
Criterios del lado trasero | Mm | El tamaño general es de 0,2-0,5 μm o según lo indicado. | |||||
Apariencia | Contaminación | No hay | |||||
Las partículas> 0,3 μm | Se trata de: | ||||||
Marcas de sierra, estrías | No hay | ||||||
El rasguño | No hay | ||||||
Las grietas, las marcas de sierra, las manchas | No hay |
Parámetros | Especificaciones |
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El paralelismo | 3 Sec. de arco |
La velocidad warp. | < 35um |
Transmisión | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
Densidad | 2.20 g/cm3 |
Certificado | ISO9001, RoHS y otras normas |
Contenido de OH | Se aplican las siguientes medidas: |
Umbral de daños | > 10 J/cm2 |
Modelo FLH | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
El grosor | 0.1 a 10 mm |
Calidad de la superficie | 20 a 10 años |
Materiales de laboratorio de cuarzo fundido | Silicia fundida de alta pureza |
Vidrio de silicato de aluminio | - ¿ Qué? |
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