AGP4000 MEMS Display digital de alta precisión con cátodo frío medidor de vacío compuesto Medidor de vacío Pirani
Utilizar:
- Fabricación de semiconductores: se utiliza para el monitoreo preciso del entorno de vacío en los procesos de fabricación de semiconductores, como el recubrimiento de semiconductores.El control preciso del grado de vacío es crucial para la calidad y el rendimiento de los productos de semiconductores, y AGP4000 puede proporcionar datos fiables de vacío para garantizar la estabilidad del proceso.
- Campo aeroespacial: en las pruebas de componentes aeroespaciales y otros escenarios, es necesario simular diferentes entornos de vacío para probar el rendimiento de los componentes.El AGP4000 puede realizar una monitorización completa de bajo vacío a alto vacío, proporcionando un importante apoyo de datos para la investigación y el desarrollo aeroespaciales y las pruebas.
- Investigación científica de precisión: En la investigación científica de precisión, como algunos experimentos físicos y químicos que requieren un control del ambiente de vacío de alta precisión,AGP4000 puede ayudar a los investigadores a obtener con precisión la información del grado de vacío, garantizando la exactitud y la repetibilidad de los resultados experimentales.
- Aplicaciones de hornos de vacío: para hornos de vacío, se requieren diferentes grados de vacío en diferentes etapas del proceso.y cooperar con el sistema de control para ajustar el grado de vacío, para garantizar la calidad del tratamiento térmico de los materiales y la vida útil del horno.
Características:
- Medida de gran alcance y alta precisión: puede lograr una monitorización precisa de alcance completo desde vacío bajo hasta vacío alto (1×10−6Pa ~ 1×105Pa), cubriendo un amplio rango de 6 órdenes de magnitud,con un error de repetibilidad de ≤ ± 5%, y una excelente estabilidad a largo plazo, proporcionando una base de datos fiable para los procesos clave.
- Colaboración inteligente de doble tecnología: El sistema Pirani funciona durante todo el proceso, y cuando el grado de vacío es < 10 Pa,el sistema de cátodo frío se inicia automáticamente sin intervención manual, lo que resuelve completamente el punto doloroso de la limitación del alcance de los equipos tradicionales.
- Fuerte y duradero: El diseño del cátodo en frío no requiere un filamento de calefacción, que tiene una fuerte capacidad antipolución, prolonga mucho la vida útil y reduce el costo de mantenimiento.
- Visualización en color verdadero: Está equipado con una pantalla de color TFT - LCD de alta definición, que puede mostrar dinámicamente el valor de presión en tiempo real,y puede cambiar entre tres unidades (Pa/Torr/mbar) con una tecla, y también muestran la temperatura, el estado de la comunicación y las marcas de encendido y apagado de alto voltaje (alerta de dos colores rojo/azul), de modo que los datos son claros a simple vista.
- Salida de doble modo: tiene una señal analógica lineal de 0 ~ 10V, que se puede conectar directamente a equipos industriales como PLC y grabadoras, y admite fórmulas de conversión logarítmica,hacer que sea fácil adaptarse al sistemaAl mismo tiempo, tiene un protocolo estándar Modbus RTU, que realiza la comunicación RS485 a través de la interfaz RJ45, soporta la red de dispositivos múltiples,y es compatible con los sistemas de control industriales convencionales, ayudando a construir una red inteligente de monitorización del vacío.
- Instalación sencilla y funcionamiento fiable: está equipado de forma estándar con una brida electro pulida de acero inoxidable KF25.que tiene una excelente estanqueidad al aire y permite su instalación en cualquier dirección (se recomienda su instalación vertical)Tiene una fuente de alimentación de amplio voltaje (15 ~ 30V DC) y un consumo de energía de ≤ 6W, que puede adaptarse a ambientes industriales duros.
- Calibración inteligente y operación conveniente: tiene un diseño de interfaz basado en menús de tres niveles, admite el cambio de chino e inglés, puede establecer parámetros y unidades de comunicación en el sitio,hacer 0.1Pa/presión atmosférica, e incluso restablecer los ajustes de fábrica con una sola tecla, lo que reduce en gran medida el umbral de operación y mantenimiento.
Error de repetibilidad |
≤ ± 5 por ciento |
Fuente de alimentación |
15 - 30 V de corriente continua |
Consumo de energía |
≤ 6 W |
Muestra |
Pantalla de colores TFT LCD de alta definición |
Señales de salida |
Señales analógicas lineales de 0 a 10 V |
