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Reborde del lacre del acero inoxidable del horno de tubo del laboratorio de PECVD 304 con entrega del gas
Reborde del lacre del acero inoxidable del horno de tubo del laboratorio de PECVD 304 con entrega del gas
Especificaciones
Número de modelo :
BR-PECVD
Lugar del origen :
China
MOQ :
1 set
Condiciones de pago :
L / C, T / T, Western Union
Capacidad de la fuente :
200 sistemas por mes
Plazo de expedición :
7-21 días laborables
Detalles de empaquetado :
Caja de madera fuerte para el envío global
Temperatura máxima :
1200℃
Vacío normal :
-0.1Mpa
Vacío máximo :
Bomba molecular de la configuración, PA del vacío 7x10-4 (opcional)
Reborde :
reborde del lacre del acero inoxidable 304
Protección de sobrecalentamiento :
poder-apagado automático cuando la temperatura excede el valor determinado permisible
Protección de la seguridad :
Automáticamente poder apagado cuando el cuerpo del horno se escapa
Estructura del horno :
ventilador dual de acero de la capa doble, temperatura superficial debajo de 50℃
VELOCIDAD DE CALENTAMIENTO DEL MAX :
20°C /min
Exactitud de la temperatura :
±1℃
Uniformidad de la temperatura :
±5℃
Control de la temperatura :
50 segmentos programables y control auto
Tubo de horno :
Tubo del cuarzo
Uso :
PECVD
Descripción

horno de 1200C Max. Lab PECVD Tube con la bomba de la entrega y de vacío del gas
 
 
Introducción inteligente de PECVD:
El sistema de PECVD se diseña para disminuir temperatura de la reacción del CVD tradicional. Instaló el equipo de la inducción del RF delante del CVD tradicional para ionizar reaccionar el gas, así que se genera el plasma. La alta actividad del plasma es reacción es acelerado debido a la alta actividad del plasma. Así pues, este sistema se llama PECVD.
Este modelo es el producto más nuevo, sintetizó las ventajas de la mayoría del sistema del tubo PECVD, y añadió el precalentamiento de zona en el frente del sistema de PECVD. Las pruebas mostraron que la velocidad de la deposición es más rápida, calidad de la película son mejores, los agujeros son menos, y no se agrietarán. El sistema de control inteligente completamente automático de AISO es diseñado independientemente por nuestra compañía, es más conveniente actuar y su función es más potente.
Gama ancha del uso: película de película metálica, de cerámica, película compuesta, crecimiento continuo de diversas películas. Fácil aumentar la función, puede ampliar el grabado de pistas de limpieza del plasma y otras funciones
 
 
Característica principal:
 

  • Alta tarifa de deposición de la película: La tecnología del resplandor del RF, aumentando grandemente el índice de deposición de la película, la tarifa de deposición puede alcanzar 10Å/S
     
  • Alta uniformidad del área: La tecnología de alimentación de múltiples puntos avanzada del RF, la distribución de la trayectoria del gas y la tecnología de calefacción especial, los etc., hacen el alcance el 8% del índice de la uniformidad de la película
     
  • Alta consistencia: usando el concepto de diseño avanzado de la industria del semiconductor, la desviación entre los substratos de una deposición es menos del 2%
     
  • Alta estabilidad de proceso: El equipo altamente estable asegura proceso continuo y estable

 
 
Repuestos estándar:

  • Tapar las PC del tubo 4
  • PC del tubo de horno 1
  • PC de la bomba de vacío 1
  • Sistemas del reborde 2 del sellado al vacío
  • PC del indicador de vacío 1
  • Bomba de la entrega y de vacío del gas
  • Equipo del plasma del RF

 
Repuestos opcionales:
 

  • Reborde de la liberación rápida, reborde de tres vías
  • 7 pedregal del tacto de la pulgada HD

 
 
 
Especificación estándar del horno de tubo de 1200℃ PECVD:
 

1. Sistema de calefacción
Max.temperature 1200℃ (1 hora)
Temperatura de trabajo ≤1100℃
Tamaño de la cámara Φ100*1650mm (el diamater del tubo es adaptable)
Material de la cámara Panel de fibras del alúmina de la pureza elevada
Termopar Tipo de K
Temperatureaccuracy ±1℃
Control de la temperatura

●50 segmentos programables para el control exacto de la velocidad de calentamiento, de la tarifa de enfriamiento y del tiempo de detención.

●Construido en la función del Auto-tono del PID con la protección quebrada del termopar de recalentamiento y quebrado.

●Sistema del control automático del PLC por el regulador de la PC dentro.

●El sistema del control de la temperatura, deslizando el sistema (tiempo y distancia) se podría controlar por programa.
Longitud de calefacción 440m m
Longitud de calefacción constante 200m m
Elemento de calefacción Alambre de resistencia
Fuente de alimentación Monofásico, 220V, 50Hz
Poder clasificado 9kW
2. Fuente del plasma del RF
Frecuencia del RF 13,56 el MHz±0.005%
De potencia de salida 500W
Máximo refleje el poder 500W
Interfaz de la salida del RF 50 Ω, N-tipo, femenino
Estabilidad del poder el ±0.1%
Componente armónico ≤-50dbc
Voltaje de fuente/frecuencia Monofásico AC220V 50/60HZ
Eficacia entera >el =70%
Factor de poder >el =90%
Cámara de enfriamiento Aire a presión
3. Sistema de control total de tres flujómetros de la precisión
Dimensión externa 600x600x650m m
Tipo del conector Swagelok SS común
Gama estándar (N2) 0~100sccm, 0~200sccm, o adaptable
Exactitud el ±1.5%
Linear el ±0.5~1.5%
Repetibilidad el ±0.2%
Tiempo de respuesta

Propiedad del gas: Sec 1~4;
Propiedad eléctrica: Sec 10
Gama de presión 0.1~0.5 MPa
Max.pressure 3MPa
Interfaz Φ6,1/4”
Exhibición exhibición de 4 dígitos
Temperatura ambiente gas de la pureza elevada 5~45
Indicador de presión - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/unidad
Pare la válvula Φ6
Tubo polaco de los SS Φ6
El sistema bajo del vacío incluyó
 

 
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Detalle del producto
Número de modelo :
BR-PECVD
Lugar del origen :
China
MOQ :
1 set
Condiciones de pago :
L / C, T / T, Western Union
Capacidad de la fuente :
200 sistemas por mes
Plazo de expedición :
7-21 días laborables
Proveedor de contacto
Reborde del lacre del acero inoxidable del horno de tubo del laboratorio de PECVD 304 con entrega del gas

Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

Verified Supplier
7 Años
henan, zhengzhou
Desde 1998
Tipo de empresa :
Manufacturer, Exporter
Productos principales :
Horno de mufla del laboratorio, Horno de mufla industrial, Horno de alta temperatura del vacío
Total anual :
300M-600M
Número de empleados :
100~200 People
Nivel de certificación :
Verified Supplier
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