Brazo cerámico de alta calidad / Garra cerámica / Dedo cerámico
El brazo robótico manipula y mueve la oblea de semiconductor entre posiciones. Es básicamente la mano del robot, por lo que es importante que sea térmicamente y dimensionalmente estable y que no contamine la cámara con partículas o contaminantes químicos.
Procesos de fabricación:
Aplicaciones principales:
Características clave y especificaciones:
Control de calidad:
Brazo cerámico / Garra cerámica / Dedo cerámico: