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fabricante creciente laboratorio-crecido de la máquina del crecimiento del diamante del equipo de la máquina MPCVD del diamante del equipo del diamante profesional del CVD
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Especificaciones
Number modelo :
BXT-MPCVD
MOQ :
1 (Min. Order)
Condiciones de pago :
L/C, T/T, D/A, D/P
Capacidad de la fuente :
5
Plazo de expedición :
DÍAS 5-8WORK
Lugar del origen :
China
Frecuencia de funcionamiento :
2450MHz
De potencia de salida :
0,1 ~ 6 kilovatios continuamente ajustables
Estabilidad del poder :
mejor el de ±1% (@ situación clasificada)
Interfaz de la guía de onda de la salida :
BJ-26/22 con el reborde estándar FD-26/22
Potencia de entrada :
380VAC/50Hz, 5 alambre trifásico, 11kW
Corriente de enfriamiento :
18L/min
Coeficiente de la onda de situación del sistema :
≤ 1,5 de VSWR
Salida de la microonda :
cumpla los estándares nacionales
Tamaño y modo de trabajo :
Modo de Φ200 x 300 (h) TM
Descripción

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Generador y sistema de la microonda Frecuencia de funcionamiento 2450MHz
  De potencia de salida 0,1 ~ 6 kilovatios continuamente ajustables
  Estabilidad del poder mejor el de ±1% (@ situación clasificada)
  Interfaz de la guía de onda de la salida BJ-26/22 con el reborde estándar FD-26/22
  Potencia de entrada 380VAC/50Hz, 5 alambre trifásico, 11kW
  Corriente de enfriamiento 18L/min
  Coeficiente de la onda de situación del sistema ≤ 1,5 de VSWR
  Salida de la microonda cumpla los estándares nacionales
Cámara de la descarga de vacío de la microonda Tamaño y modo de trabajo Modo de Φ200 x 300 (h) TM
  Área eficaz de la deposición Φ50mm
  Gama del control de presión 0.5KPa~30KPa
  Exactitud de control de presión ±15Pa
Adquisición del vacío Solo crecimiento cristalino tasa de crecimiento de 10-15μm/H, solo ≥ 1.6m m del grueso del crecimiento
  Sola calidad cristalina casi ningunos defectos debajo del ojo desnudo
Sistema del vacío Modo del escape terraplén con N2
  Último grado del vacío un mejor than8×10-4Pa
  Tarifa de la salida del vacío ≤10-9pA.m3/s
  Subida de la presión 24 horas de subida media de la presión son menos than1Pa/H
Sistema de flujo total del gas Exactitud 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa
  Tipo y gama de gas H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), O2 (10SCCM), N2 (20SCCM)
Sistema de la etapa de la muestra Diámetro de la etapa de la muestra Φ60mm, refrigerado por agua;
  Gama de ajuste de muestra
tabla		 0~15m m
  Gama de ajuste de la placa de la cavidad 0~60m m
Medida de la temperatura del substrato medida infrarroja de la temperatura
gama		 600~1200℃ (medida infrarroja de la temperatura)
  Precisión del control de la temperatura control de la temperatura precision±5℃;
  Gama del control de área de la temperatura constante diferencia de la temperatura de cada punto del molibdeno platform≤30℃
Interfaz de dispositivo Agua de la entrada y del mercado " Alambre externo G1
  Conexión del gas 1/4" alambre externo del VCR
  Interfaz de la descarga del extractor 3/4" alambre externo
  Línea eléctrica TB4506
Resistencia de aislamiento ≥5MΩ
Confiabilidad la hora laborable continua y estable en condiciones normales no estará menos que 24H
Fuente de alimentación total 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW
Agua de enfriamiento total 34L/min, agua suave limpia, temperatura del agua de la entrada es 20℃±5℃; La presión de agua es 0.2~0.4MPa
Dimensiones ~1,95 (L) x0.8 (W) x1.90 (H) m

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Detalle del producto
Number modelo :
BXT-MPCVD
MOQ :
1 (Min. Order)
Condiciones de pago :
L/C, T/T, D/A, D/P
Capacidad de la fuente :
5
Plazo de expedición :
DÍAS 5-8WORK
Lugar del origen :
China
Proveedor de contacto
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Shanghai Glomro Industrial Co., Ltd.

Verified Supplier
7 Años
shanghai, shanghai
Desde 2012
Tipo de empresa :
Manufacturer, Exporter, Trading Company, Seller, Other
Productos principales :
Calorímetro de la exploración diferencial de DSC, Analizador termogravimétrico, Analizador termal diferenciado
Total anual :
10,000,000-20,000,000
Número de empleados :
100~150
Nivel de certificación :
Verified Supplier
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